在掃描電鏡（SEM）觀察中，樣品表面的導(dǎo)電性對(duì)圖像分辨率和成像質(zhì)量有很大影響，主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：

電荷累積效應(yīng)

非導(dǎo)電樣品在電子束照射下，表面會(huì)積累電荷。

電荷會(huì)偏轉(zhuǎn)入射電子束或二次電子的軌跡，造成圖像漂移、條紋、模糊，分辨率明顯下降。

嚴(yán)重時(shí)甚至?xí)霈F(xiàn)圖像“閃爍”或無(wú)法聚焦。

電子信號(hào)收集效率

導(dǎo)電樣品能快速將入射電子電流泄放至接地，保持電荷平衡。

這樣二次電子、背散射電子信號(hào)更穩(wěn)定，成像清晰度高，分辨率得以發(fā)揮。

非導(dǎo)電樣品信號(hào)不均勻，會(huì)出現(xiàn)局部過(guò)亮或過(guò)暗區(qū)域。

束斑穩(wěn)定性與束流控制

樣品導(dǎo)電性差時(shí)，電荷會(huì)影響電子光學(xué)系統(tǒng)的穩(wěn)定性，束斑難以聚焦到最小，導(dǎo)致分辨率降低。

良好導(dǎo)電性有助于束斑穩(wěn)定，從而獲得高分辨率成像。

加速電壓的依賴性

在低加速電壓下，非導(dǎo)電樣品更容易積累電荷，影響分辨率更明顯。

高加速電壓時(shí)雖然電子能穿透更深，但表面電荷積累問(wèn)題依舊存在。

解決措施

在非導(dǎo)電樣品表面進(jìn)行金屬（Au、Pt、Pd）或碳鍍膜，增加導(dǎo)電性。

使用低真空/環(huán)境 SEM（ESEM），通過(guò)氣體中和電荷。

采用低束流或脈沖電子束，減小充電效應(yīng)。

在樣品與載物臺(tái)之間加導(dǎo)電膠帶，改善接地。