掃描電鏡圖像采集過程中可以實時調(diào)參嗎?
日期:2025-07-30
掃描電鏡(SEM)圖像采集過程中是可以實時調(diào)參的,而且這是實際操作中非常重要的一部分。操作員通常會在觀察圖像的同時,實時調(diào)整參數(shù)來優(yōu)化成像效果。
可以實時調(diào)整的主要參數(shù)包括:
1. 焦距
實時調(diào)整以獲取清晰圖像;
常配合放大倍數(shù)同步微調(diào)。
2. 像差校正
用于修正電子束的非對稱模糊;
實時調(diào)整,改善圖像清晰度,尤其在高倍率下非常關鍵。
3. 工作距離
可通過調(diào)整樣品臺高度(Z 軸)或電鏡柱的位置進行;
會影響圖像清晰度、景深和分辨率,實時微調(diào)以找適合焦面。
4. 加速電壓
實時切換不同電壓(如 1 kV、5 kV、10 kV)觀察材料不同深度或抑制帶電;
影響圖像穿透力、對比度和信號強度。
5. 探測器切換與信號通道選擇
實時切換 SE(次級電子)/ BSE(背散射電子)/ EDS 等通道;
比較不同圖像效果,選擇適合的成像方式。
6. 對比度與亮度
實時調(diào)整增強圖像可視性;
不影響實際圖像結構,但會改善觀察體驗。
7. 掃描速度或積分模式
快速掃描用于快速定位;
慢速掃描用于最終采圖,可實時切換觀察圖像變化。
8. 放大倍數(shù)
可連續(xù)調(diào)節(jié)放大倍數(shù),邊觀察邊調(diào)整焦點與像差。
9. 電子束偏轉(zhuǎn)
實時調(diào)整圖像位置,使目標居中,方便觀察或拍照。
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作者:澤攸科技