在掃描電鏡（SEM）中，能譜圖（EDS 或 EDX 圖）顯示的是樣品中不同元素對入射電子束響應所產生的特征 X 射線的強度與能量的關系。通過分析這些特征 X 射線的能量位置（峰的位置），就可以判斷樣品中含有哪些元素。

以下是具體的判斷方法：

第一步：觀察能譜圖橫軸和縱軸

橫軸是能量（keV），表示 X 射線的能量；

縱軸是強度（counts），表示每個能量下探測到的 X 射線數量。

第二步：識別特征峰位置

每種元素在特定能量處有其特征 X 射線峰，稱為“K、L、M 系列峰”。

例如：

碳（C）Kα 峰：約 0.28 keV

氧（O）Kα 峰：約 0.52 keV

鐵（Fe）Kα 峰：約 6.40 keV，Kβ：約 7.06 keV

銅（Cu）Kα 峰：約 8.04 keV

金（Au）Mα 峰：約 2.12 keV

能譜圖中出現的每一個清晰峰位，通常就對應一個特定元素的存在。

第三步：使用軟件自動匹配元素

SEM 的能譜分析軟件通常帶有自動元素識別功能：

系統會根據峰位位置自動列出可能對應的元素；

用戶可以手動確認或修改識別結果；

軟件還可提供每種元素的相對含量（半定量分析）。

第四步：注意干擾峰和偽峰

有時兩個元素的峰位很近，可能會重疊或干擾，比如：

硅（Si）Kα：1.74 keV 與金（Au）Mα：2.12 keV 較近；

錳（Mn）Kα 和鐵（Fe）Kβ 也容易混淆。

此時應結合樣品背景、材料信息或使用標準樣本進行校對。