SEM納米探針臺產品實現了三維空間上的準確定位， 它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡單，能在真空下使用等優點，可應于SEM真空腔體內完成各種納米精度運動操作。

SEM納米探針臺產品使用壓電陶瓷驅動，運無需潤滑，百分真空兼容，并可在很廣的溫度范圍內工作。運動分辨率達到納米級。步進和掃描雙模式工作，在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。

三軸探針臺由三個單軸運動臺組合而成。一SEM腔體內可安裝多個三軸探針臺。平上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭，實現微納操縱和測量的目的。

產品應用

單個探針指標

外形尺寸：L48.6mm*W32.2mm*H43.6mm

X/Y/Z軸行程：±10mm

X/Y/Z軸速度：~3mm/s

X/Y/Z軸運動分辨率：<0.5nm

Z軸最大負載：270g

標準配置包含：

探針主體

適配SEM/FIB的底座

過真空法蘭

探針控制器及控制手柄

選配：

低溫、高溫樣品臺

光纖夾頭和光纖真空饋通

EBIC套件

產品特點

結構緊湊，高剛性

零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統 

壓電陶瓷位移平臺具有超長使用壽命

內部根據需求可增加位置反饋 

應用：納米材料操縱、納米器件電學光電等物性測量、生物細胞DNA操作等

適配SEM：日本電子、 日立、FEI、 TESCAN等

應用案例