掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope，SEM）是一種利用高速電子掃描來研究材料表面形態和結構的儀器。相比于傳統光學顯微鏡，SEM具有更高的分辨率和深度，可以觀察到更小尺度的微觀結構和表面形貌。SEM在材料科學、生物學、地質學、電子學等領域廣泛應用。

SEM的原理是將樣品放在真空室內，然后用電子槍產生高速電子束，掃描樣品表面，樣品表面受到電子轟擊后發出的次級電子、反射電子等被收集并轉化成圖像信號，然后通過電子透鏡和探測器放大和檢測這些信號，再通過計算機進行圖像處理和分析，然后形成高分辨率的樣品表面形貌圖像。

臺式掃描電鏡

SEM的應用范圍很廣，常用于材料科學中的納米材料、復合材料、金屬材料、陶瓷材料等的形貌表征、成分分析和晶體結構分析；生物學中的細胞結構、細胞器結構、生物材料的形貌表征等方面的研究；電子學中的芯片材料和器件結構分析等方面的應用；地質學中的礦物學和巖石學方面的研究等。SEM還可以與其他分析技術如X射線能譜分析、掃描探針顯微鏡等結合使用，進行更加全的分析和表征。

總之，SEM是一種非常有用的高分辨率顯微技術，可以用來觀察和分析各種不同領域的材料和結構，為科學研究和工業生產提供了強有力的工具和支持。

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